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第二十章 真空镀膜(上)

品台了,为什么下面要加装一块金属挡板呢?”许秋问道。
    “这块金属挡板叫做样品挡板,当他处于开启状态时,可以有效阻挡气体分子沉积在样品表面。因此,我们可以利用它,控制蒸镀的开始和结束时间,得到精确的厚度。”陈婉清道。
    将舱内情况了解完毕后,许秋开始做蒸镀前的准备工作。
    两批基片的器件结构不同,需要分两次进行蒸镀。
    第一批是正常结构,也就是蒸镀钙和铝。
    许秋首先在钨篓中装满99.995%纯度的铝锭,然后让学姐帮忙打开钙束源炉的挡板。
    挡板的开关是数控的,需要在手套箱外的总控台操作。
    打开挡板后,他取出束源炉内部的陶瓷坩埚,将上次使用后剩余的残渣倒出,再加入两勺新的99.995%纯度的钙粉末。
    陶瓷坩埚是特质的,可以至少承受1000摄氏度以上的高温,且十分稳定,不会与靶材反应,产生杂质。
    完成后,他让学姐关闭束源炉挡板。
    最后,他将一片片基片正面朝下放置在样品支架上,再将样品支架放回样品台。
    “学姐,没有问题吧,可以关舱门了吗。”许秋看向陈婉清。
    “
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